近日，在位于廈門(mén)大學(xué)翔安校區(qū)能源材料大樓的無(wú)噪聲實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，工程師吳曉威操作儀器，將材料樣本送進(jìn)“三束流聚焦離子束加工與表征系統(tǒng)”內(nèi)進(jìn)行失效分析。這個(gè)實(shí)驗(yàn)室能夠營(yíng)造一個(gè)近乎“無(wú)聲靜止”的世界，以小于百納米/秒的振動(dòng)護(hù)航高精尖儀器最大限度發(fā)揮作用，實(shí)現(xiàn)超高精度的微納加工和極致精度的測(cè)量表征，是科研人員“夢(mèng)寐以求”的工作環(huán)境。
作為嘉庚創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室建設(shè)的公共支撐平臺(tái)之一，這個(gè)無(wú)噪聲實(shí)驗(yàn)室是亞洲首個(gè)無(wú)噪聲精密加工和表征實(shí)驗(yàn)室，為未來(lái)納米尺度下頂尖基礎(chǔ)科學(xué)研究和工程技術(shù)創(chuàng)新提供接近理想條件。目前，無(wú)噪聲實(shí)驗(yàn)室不僅成為廈大師生開(kāi)展研究的重要平臺(tái)，三安光電、宸鴻科技等一批光電、半導(dǎo)體、新材料、儀器裝備方面的龍頭企業(yè)也利用該實(shí)驗(yàn)室推進(jìn)關(guān)鍵核心材料研發(fā)。
創(chuàng)新是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的第一動(dòng)力，廈門(mén)正通過(guò)加快建設(shè)重大創(chuàng)新載體，不斷提升創(chuàng)新鏈能級(jí)。作為我省首批四家省創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室之一，嘉庚創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室以國(guó)家級(jí)實(shí)驗(yàn)室為目標(biāo)，圍繞攻克“卡脖子”技術(shù)、落地產(chǎn)業(yè)化成果，正不斷推進(jìn)能源材料領(lǐng)域的戰(zhàn)略科技平臺(tái)建設(shè)和關(guān)鍵核心技術(shù)突破。
“除了無(wú)噪聲精密加工和表征實(shí)驗(yàn)室可提供當(dāng)前全球極限精度的測(cè)量與加工條件，嘉庚創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室還建設(shè)了1000余平方米的微納加工中心，可支撐半導(dǎo)體、集成電路和新材料等重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。”嘉庚創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室副主任助理郭奇勛介紹，實(shí)驗(yàn)室打造的高端設(shè)施平臺(tái)新增設(shè)備總值近2億元，可支持“計(jì)算模擬—材料制備—微納加工—分析表征”全流程研發(fā)，已為20余家知名校企提供技術(shù)服務(wù)。
“先進(jìn)研發(fā)設(shè)施是實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目開(kāi)展和企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的有力支撐，在現(xiàn)有能力的基礎(chǔ)上，開(kāi)展公共支撐平臺(tái)二期能力建設(shè)，如大面積、亞十納米加工精度的電子束光刻機(jī)、空間分辨率達(dá)到亞埃級(jí)的雙球差校正透射電子顯微鏡、高通量智能仿真模擬系統(tǒng)等?！惫鎰渍f(shuō)。
此外，聚焦國(guó)家戰(zhàn)略需求和地方產(chǎn)業(yè)發(fā)展，嘉庚創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室能源材料領(lǐng)域關(guān)鍵核心技術(shù)的研發(fā)也在馬不停蹄地開(kāi)展著。（ 林麗明 楊珊珊）
